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晶盛机电:6-8 英寸碳化硅衬底批量出货
发布时间:2025.02.27 浏览次数:212

  晶盛机电建设 6-8 英寸碳化硅衬底规模化产能并实现批量出货,积极推进 8 英寸碳化硅衬底的产能爬坡,并拓展了海外客户;同时,公司量产碳化硅衬底核心参数指标达到行业一流水平,在保持已有技术优势的基础上,公司将以创新驱动发展,关注行业前沿技术发展并科学布局,保持技术领先优势。

  在碳化硅设备领域,公司开发了 6-8 英寸碳化硅长晶设备、切片设备、减薄设备、抛光设备、外延设备、量测设备等,实现了碳化硅外延设备的国产替代,并创新性推出双片式碳化硅外延设备,大幅提升外延产能,8 英寸碳化硅外延设备和光学量测设备顺利实现销售。